விழியொளி (visible light) அல்லது புறவூதாவொளி (UV light) ஆகியதைப் பயன்படுத்தும் அச்சோவிய முறை; ஒளியச்சோவியத்தின் போது சீவலின் மையத்தில் ஒளித்தடுப்பு (photoresist) இடப்பட்டு சீவல் சில நொடிகளுக்கு சுழற்றப்படுகிறது. இதனால் ஒளித்தடுப்பு சீவலில் பரவிகிறது. சீவலில் ஒரு மறைப்பினால் (mask) மறைக்கப்பட்ட இடங்களில் குறைக்கடத்திப் படிதல் அல்லது நீக்கம் நடைபெறுவதில்லை